超臨界流體(Supercritical Fluid, 簡稱SF或SCF),是指溫度和壓力處於物質臨界溫度(TC)和臨界壓力(PC)以上的流體。超臨界流體兼有液體和氣體的特點,密度大、黏度小、擴散係數大,具有良好的溶解和傳質特性(在臨界點附近,超臨界流體的溶解能力對壓力和溫度的變化非常敏感,控製操作壓力和溫度,可以很方便地控製超臨界流體的溶解能力、傳遞能力和反應能力)。
超臨界流體技術(Supercritical Fluid technology)是一類相關技術的總稱,它是以超臨界流體為工作介質,代替揮發性有機溶劑(VOC)進行物質的分離純化、化學反應和材料處理及加工等。超臨界流體技術主要包括:臨界流體萃取、超臨界幹燥、超臨界噴塗、超臨界滅菌、超臨界印染、超臨界清洗、超臨界幹洗和超臨界微細顆粒製備等。