超臨界流體（Supercritical Fluid, 簡稱SF或SCF），是指溫度和壓力處於物質臨界溫度（TC）和臨界壓力（PC）以上的流體。超臨界流體兼有液體和氣體的特點，密度大、黏度小、擴散係數大，具有良好的溶解和傳質特性（在臨界點附近，超臨界流體的溶解能力對壓力和溫度的變化非常敏感，控製操作壓力和溫度，可以很方便地控製超臨界流體的溶解能力、傳遞能力和反應能力）。
超臨界流體技術(Supercritical Fluid technology)是一類相關技術的總稱，它是以超臨界流體為工作介質，代替揮發性有機溶劑（VOC）進行物質的分離純化、化學反應和材料處理及加工等。超臨界流體技術主要包括：臨界流體萃取、超臨界幹燥、超臨界噴塗、超臨界滅菌、超臨界印染、超臨界清洗、超臨界幹洗和超臨界微細顆粒製備等。
